TY - BOOK AU - Jackson,Mark J. TI - Micro and nanomanufacturing SN - 9780387258744 (empastado, cubierta dura) AV - TK7836 J33 U1 - 620/.5 22 PY - 2007/// CY - New York PB - Springer Verlag KW - Microfabricación KW - Nanotecnología ER -