TY  - BOOK
AU  - Helbert,John N.
TI  - Handbook of VLSI microlithography: principles, technology, and applications 
SN  - 0815514441
AV  - TK7874 H359 2001
PY  - 2001///
CY  - Norwich, New Yersey
PB  - Noyes
KW  - Circuitos integrados en muy gran escala
KW  - Microlitografía
ER  -